Sistemul de cuptor PECVD
Acest produs este un sistem PECVD de dimensiuni medii, cu deschidere glisante. Acest sistem de cuptor cu tub PECVD este echipat cu o sursă de alimentare cu plasmă RF, un sistem de amestecare a gazului cu flux de masă în trei căi (cu intervale de 1-100 SCCM, 1-200 SCCM și 1-200 SCCM), un cuptor cu tub deschis de 60 mm diametru (cu flanșă de vid și conducte de conectare) și o pompă mecanică.
Informații despre produs
| Model de produs | Sistem de cuptor cu tuburi glisante PECVD——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Parametrii principali ai produsului | Alimentare: 220V 50/60Hz; Putere nominala: 3,1 kW; Temperatura maxima de functionare: 1200°C (<0,5 h); Temperatura de funcționare continuă: ≤1100°C; Viteza de încălzire recomandată: ≤10°C/min; Lungimea zonei de incalzire: 440mm; Termocuplu: de tip K |
| Caracteristici principale | Sursa de alimentare RF poate obține îmbunătățirea plasmei și poate reduce semnificativ temperatura experimentală; creșterea și scăderea rapidă a temperaturii pot fi realizate prin glisarea corpului cuptorului; stresul filmului poate fi controlat de frecvența sursei de alimentare RF; stoichiometria poate fi controlată prin reglarea procesului; pot fi depozitate diverse materiale precum SiOx, SiNx, SiOxNy și (a-Si:H). |
| Element de incalzire | Sârmă din aliaj fier-crom-aluminiu 0Cr21Al6Nb |
| Dimensiunea tubului cuptorului | Diametrul tubului de cuarț opțional: Φ60 |
| Sistem de control al temperaturii | Include un controler de temperatură YD858; Control PID și reglare automată, control programabil inteligent pe 50 de segmente, cu funcții de alarmă de supra-temperatură și epuizare; Precizia controlului temperaturii: ± 1℃ |
| Sursa de alimentare cu plasma RF | Sursa de alimentare RF 300W; Putere de iesire: 0~300W reglabila; Frecvența RF: 13,56MHZ; Potrivire automată; Nivel de zgomot < 50dB; Metoda de racire: racire cu aer; Tensiune de intrare: 180~250V |
| Interfață flanșă de etanșare în vid | Configurație standard: o pereche de flanșe de vid din oțel inoxidabil și inele de etanșare din silicon pentru temperatură înaltă; flanșele de ieșire sunt flanșe cu trei orificii K16, KF25 și Φ8.2; flanșa de evacuare poate fi conectată la adaptorul KF25 cu un burduf și apoi la pompa de vid. |
| pompa de vid | Adopți pompa de vid mecanică cu palete rotative duble TRP-12; gradul de vid poate ajunge la 10-2torr; Accesoriile de conectare la vid sunt echipate cu cleme KF25 și burduf din oțel inoxidabil pentru conectarea cuptorului cu tub și a pompei de vid |
| Sistem de alimentare cu gaz | Sistem de amestecare cu flux de masă cu trei căi - GYS-3Z; Alimentare: 220V 50/60Hz; Domenii de măsurare: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Un manometru mecanic este instalat pe panoul frontal și conectat la conducta de amestec; Interval manometru: -0,1-0,15MPa; Dimensiunea rezervorului de amestecare: Φ80*120mm; Conducta de conectare internă este Φ6,35 |
| Structura cuptorului | Corpul cuptorului poate fi mutat la stânga și la dreapta, iar sursa de alimentare RF poate fi mutată la stânga și la dreapta. Corpul cuptorului și sursa de alimentare RF sunt instalate pe aceeași șină de glisare și folosesc același tub de cuarț. |
| Standarde de certificare și componente de bază | Componentele de bază ale întregii mașini sunt în conformitate cu CE, UL, MET și alte standarde de certificare; componentele de bază includ componente electrice ABB, fire și cabluri certificate UL, instrumente Omega, Yudian, Continental etc. |
Contactați-ne
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. a fost înființată în 2015. Este o întreprindere profesională care dezvoltă și produce materiale ultraușoare, economice energetic, pentru temperaturi înalte și vinde cuptoare electrice experimentale, cuptoare electrice industriale și cuptoare electrice personalizate non-standard. Profesionalism Sistemul de cuptor PECVD Producători și Sistemul de cuptor PECVD Fabrică. Compania aderă la principiul „supraviețuire prin calitate, dezvoltare prin reputație” și susține filosofia de afaceri „practicitate, integritate și eficiență”. Ne angajăm să oferim soluții complete și de înaltă calitate pentru clienți din industrii precum ceramica, metalurgia, electronica, sticla și ingineria chimică. De asemenea, oferim servicii precum prăjirea pulberilor, sinterizarea ceramică și experimente la temperaturi înalte către universități, institute de cercetare și întreprinderi industriale și miniere. În același timp, ne străduim să promovăm dezvoltarea strategică a fibrei de alumină pentru temperaturi înalte, ușoară, economică și ecologică, creată de Nengcheng, în domeniul noilor cuptoare și ne străduim să devenim un furnizor de servicii lider la nivel internațional în industria echipamentelor avansate pentru temperaturi înalte. Sistemul de cuptor PECVD Personalizat.
Ultimele știri
-
Introducere la Tratament termic cu vid Tratamentul termic în vid este un proces metalurgic avansat utilizat pentru a îmbunătăți proprietățile mecanice și durabilitatea componentelor industriale. Prin încălzirea materialelor într-un mediu de vid, oxidarea și contaminarea sunt minimizate, rezultând performanțe precise și consistente ale materialului. Această tehnică este aplicată pe scară largă în industrii precum aerospațial, auto, fabricarea de scule și electronice. Rezistența...
